真空灭弧室
真空灭弧室是真空断路器的主要元件。它是在1只管形的玻璃管(或陶瓷管)内，密封着所有的灭弧元件，分合闸时通过动触杆运动，拉长或压缩波纹管而不破坏灭弧室内真空的装置。
1)检查外观有无异常、外表面有无污损，如果绝缘外壳表面沾污，应用干布擦试干净。
2)检查触头的烧损厚度，具体是检查真空灭弧室动导电杆伸出导向板长度的变化情况，如总的变化量超出3mm，则真空灭弧室应更换。
3)真空灭弧室漏气。使用中应定期用工频耐压法检查真空灭弧室的真空度。试验时，灭弧室在分闸状态下，应能承受42kV、1min工频耐压试验，否则应更换。
4)每一次维护，都要对真空断路器的触头开距、压缩行程、三相同期性进行检查及调整。
高压带电部分
高压带电部分指真空灭弧室的静导电杆和动导电杆接到主回路端子以接通电路的部分，它由支持绝缘子、绝缘套管等绝缘元件支撑在真空断路器的框架上。
1)检查导电部分有无变色、断裂、锈蚀，固定联接部分元件有无松动，绝缘有无破损、污损。
2)测试主回路相对地、相与相之间及绝缘提升杆的绝缘电阻应不小于规定值。
3)断路器在分、合闸状态下分别进行主回路相对、相间及断口的交流耐压试验1min，应合格；绝缘提升杆在更换或干燥后必须进行耐压试验。
4)测试真空灭弧室两个端之间、主回路端之间的接触电阻，应不大于规定值。
操作机构部分
真空断路器的操作机构一般采用电磁操作机构、电动或手动弹簧储能操作机构。
1)检查紧固元件有无松动，各种元件是否生锈、变形、损伤，更换不合格的部件，涂上防锈油。
2)多次进行分、合闸操作试验、自由脱扣试验、通电合闸操作试验，断路器应无异常。
3)测试电磁操作机构在120％～65％的额定电压范围内分合闸操作无异常；30％额定分闸电压进行操作时，应不得分闸。在110％～85％的额定电压范围分、合闸内操作无异常。
控制组件
控制组件是操作断路器所不可缺少的部分。主要检查各个接线端子，有无松动变色，微动开关、辅助开关的动作是否到位，触头有无烧损，各个电气及控制回路元件的绝缘电阻应不少于2MΩ。分、合线圈及合闸接触器线圈的直流电阻值与产品出厂试验值相比应无明显差别。
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